深紫外LED的研究進(jìn)展與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
摘要: 隨著LED技術(shù)不斷發(fā)展,其發(fā)光波長已經(jīng)由可見光波段拓展到深紫外波段,其技術(shù)逐漸成熟和成本下降將使得紫外LED應(yīng)用更加廣泛,甚至可能超越目前的藍(lán)光LED。從深紫外LED的發(fā)光特點(diǎn),制作工藝等方面,重點(diǎn)介紹深紫外LED的目前的研究進(jìn)展與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
目前的研究進(jìn)展及存在問題
經(jīng)過10多年研究和發(fā)展,280 nm以下的深紫外LED外量子效率已超過5%,對應(yīng)發(fā)光功率大于5 mW,壽命達(dá)5 000 h。功率的提升推動應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展,深紫外線LED的用途包括:光學(xué)傳感器和儀器(230~400 nm)、紫外線身份驗(yàn)證、條碼(230~280 nm)、飲用水殺菌、便攜式殺菌(240~280 nm)。
2.1 功率低
深紫外LED外量子效率已超過5%,但與藍(lán)光的60%相比仍然很低,其原因如下。
(1)模板材料質(zhì)量缺陷,在藍(lán)寶石上外延的A1N材料的位錯密度高達(dá)1X109cm2,而圖形襯底生長的GaN材料的位錯密度約為1 X10 7cm2,故采用圖形襯底提高模板材料質(zhì)量。
(2)多層結(jié)構(gòu)中深紫外光的全內(nèi)反射損失,以及P型電極的吸收導(dǎo)致光提取效率差,目前光萃取效率只有6%。須取得對p型歐姆接觸的突破,減少對高吸光p-GaN的依賴;優(yōu)化多層異質(zhì)結(jié)之問的折射率差;運(yùn)用圖形襯底;粗化出光面。
(3)高鋁組分的A1GaN會出現(xiàn)明顯的量了極化效應(yīng),使量子阱和壘中出現(xiàn)極化電場,導(dǎo)致工作電壓升高和量子效率下降。解決辦法為使用非極性面(如a面)藍(lán)寶石作為襯底,或采用組分漸變方法進(jìn)行抵消。
2.2 散熱性差
外量子效率低致使大部分電能轉(zhuǎn)化為熱能,因此散熱問題很關(guān)鍵。從芯片和封裝方面看,薄膜倒裝深紫外LED和倒裝焊深紫外LED可以提高散熱,可制作高功率深紫外LED。
2.3 壽命低
與藍(lán)光的100000h比,深紫外LED的壽命只有5000h,其低壽命主要?dú)w因于材料缺陷和散熱不良,以及封裝材料受紫外線照射易老化。
深紫外LED的應(yīng)用
深紫外LED與傳統(tǒng)的紫外汞燈性能對比見下表,紫外LED具有的優(yōu)勢如下。
(1)高效:單位面積的光強(qiáng)超過汞燈的1 000倍。比如單顆LED的發(fā)光面積僅僅為0.3 mm X 0.3mm但光功率大于1mW,而汞燈在如此小的面積上發(fā)出的光功率不到1 mW 。
(2)環(huán)保:半導(dǎo)體材料無毒無害,紫外LED也不含任何有毒物質(zhì)。
(3)節(jié)能:同樣的光輸出功率,耗能僅是汞燈的1/10。
(4)可靠:體現(xiàn)在開關(guān)特性和使用壽命可智能控制方面。由于LED的發(fā)光特性,脈沖式的開關(guān)對LED的壽命沒有任何影響,6V的直流電接通就同步發(fā)出紫外線,而汞燈的開關(guān)則直接影響其壽命,因此與傳統(tǒng)的汞燈相比,LED的紫外線發(fā)出和控制極為簡單便利。

3.1 殺菌消毒
紫外線有效消毒的波長區(qū)間為240~300 nm,它可以破壞細(xì)菌的復(fù)制基因鏈,使其無法復(fù)制,從而達(dá)到殺菌目的,其殺菌特點(diǎn)如下。
(1) 殺菌過程是1個物理破壞過程,與化學(xué)藥劑不同,它不受溫度、濃度、活性等化學(xué)平衡條件影響。
(2)無毒、無殘留和無異味。
(3)細(xì)胞壁和病毒蛋白質(zhì)外殼均對深紫外線無法阻擋。
(4)對DNA、RNA造成統(tǒng)一破壞,不必更換藥品。
(5)不必使用組合藥劑。
(6)特別適合空氣、水和物體表面消毒。
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