德國AIXTRON愛思強股份有限公司(法蘭克福證券交易所：AIXA;納斯達(dá)克：AIXG)今日宣布，一家大型存儲器制造商驗證認(rèn)可其QXP-8300原子層沉積技術(shù)(ALD)小批次生產(chǎn)系統(tǒng)適合各種先進(jìn)存儲器應(yīng)用的高介電系數(shù)氧化膜，包括3D結(jié)構(gòu)元件。

　　AIXTRON愛思強在矽半導(dǎo)體制造科技達(dá)到里程碑

　　AIXTRON愛思強美國分公司副總裁兼總經(jīng)理BillBentinck表示，“我們非常高興地了解到，我們的客戶已經(jīng)完成對QXP-8300ALD系統(tǒng)是否適合制造最先進(jìn)高性能存儲元件的評估。QXP-8300ALD系統(tǒng)能夠制造具備卓越電子和元件性能的先進(jìn)薄膜。AIXTRON愛思強期望以提供生產(chǎn)設(shè)備，進(jìn)一步支持客戶的存儲器開發(fā)計劃，以解決產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展帶來的挑戰(zhàn)。”

　　隨著半導(dǎo)體存儲單元的尺寸不斷縮小，制造商需要更先進(jìn)的技術(shù)，用于沉積精密介電層、金屬和非易失性存儲材料。AIXTRON愛思強QXP-8300ALD系統(tǒng)包括已獲專利的三噴頭(TriJet)汽化器技術(shù)，該技術(shù)與獨特的近耦合噴淋頭設(shè)計結(jié)合，可使在制造超高介電值的介電和金屬氮化物的過程中，能夠按實際需要使用低蒸氣壓前驅(qū)體，從而能夠提高性能。

　　關(guān)于AIXTRON愛思強

　　AIXTRON愛思強是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先的沉積設(shè)備供應(yīng)商。該公司成立于1983年，總部設(shè)在德國黑措根拉特(靠近亞琛)，并在亞洲、美國及歐洲設(shè)有子公司及銷售辦事處。該公司的技術(shù)解決方案被全世界廣泛的客戶所使用，以制造先進(jìn)的電子和光電子應(yīng)用元件，這些元件乃基于化合物、矽或有機(jī)半導(dǎo)體材料。該元件被廣泛用于創(chuàng)新應(yīng)用、技術(shù)及行業(yè)，其中包括LED應(yīng)用、顯示技術(shù)、數(shù)據(jù)存儲、數(shù)據(jù)傳輸、能源管理和轉(zhuǎn)化、通訊、信號燈和照明技術(shù)以及其他尖端技術(shù)。