國(guó)產(chǎn)LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD問(wèn)世
摘要: 中國(guó)國(guó)產(chǎn)的代表國(guó)際尖端水準(zhǔn)的高亮度LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)在正泰集團(tuán)上海張江理想能源設(shè)備有限公司6日成功下線,打破了該領(lǐng)域長(zhǎng)期被歐美企業(yè)壟斷的局面,大陸LED生產(chǎn)成本有望顯著下降。
中國(guó)國(guó)產(chǎn)的代表國(guó)際尖端水準(zhǔn)的高亮度LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)在正泰集團(tuán)上海張江理想能源設(shè)備有限公司6日成功下線,打破了該領(lǐng)域長(zhǎng)期被歐美企業(yè)壟斷的局面,大陸LED生產(chǎn)成本有望顯著下降。
MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備,因設(shè)備技術(shù)難度高、開(kāi)發(fā)周期長(zhǎng)以及國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因,市場(chǎng)主要被歐美企業(yè)所壟斷。
國(guó)產(chǎn)MOCVD機(jī)臺(tái)
中國(guó)LED外延芯片與封裝在規(guī)模和品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就,產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化比例顯著提升,但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口,生產(chǎn)成本居高不下,嚴(yán)重制約著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開(kāi)發(fā)出更高性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。
現(xiàn)在我國(guó)的MOCVD設(shè)備很大程度上依賴于國(guó)外,在LED產(chǎn)品的研發(fā)和制造上也受到諸多限制。LED產(chǎn)業(yè)要想獲得長(zhǎng)遠(yuǎn)的發(fā)展,就必須擺脫國(guó)外對(duì)產(chǎn)品的控制。
國(guó)外的MOCVD設(shè)備已經(jīng)趨于成熟,而由于產(chǎn)能的差距,小批量的MOCVD設(shè)備外延片生產(chǎn)成本較高。我國(guó)國(guó)產(chǎn)的MOCVD機(jī)臺(tái)申請(qǐng)20項(xiàng)國(guó)內(nèi)外專利,在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升,最適合商業(yè)量產(chǎn)。相信這次機(jī)臺(tái)的下線能夠?yàn)槲覈?guó)LED行業(yè)的發(fā)展起到推動(dòng)作用,同時(shí)減少對(duì)國(guó)外技術(shù)和設(shè)備的依賴,從而增強(qiáng)我國(guó)LED照明產(chǎn)品在國(guó)際市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)力。
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