藍寶石襯底的圖形化技術在GaN基LED上的應用
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上傳人：陳洪鈞/張沛元/王璨璨/吳立樞/李運/張雄/崔一平 上傳時間： 2012-03-14 瀏覽次數： 842 |
目錄
1、前言
2、圖形化襯底提高出光率原理
3、發展現狀
4、最新進展
5、結論
什么是圖形化藍寶石襯底?
PSS(Patterned Sapphire Substrate)，是指在藍寶石襯底上制作出周期性圖形。具體指利用標準的光刻工藝將藍寶石襯底表面的掩膜刻出圖形，之后用ICP或濕法刻蝕技術刻蝕藍寶石襯底，去除掉掩膜后生長GaN材料，使GaN材料的縱向外延變為橫向外延。
特點：
1、可以有效減少GaN外延材料的位錯密度，從而減小有源區的非輻射復合，提高內量子效率，減小反向漏電流，提高LED的壽命。
2、有源區發出的光，經GaN和藍寶石襯底界面多次散射，改變了原全反射光的入射角，增加了LED光出射的幾率，從而提高了光的提取效率。
……
圖、幾類藍寶石圖形化襯底
圖、使用圖形化襯底(PSS)與傳統藍寶石襯底的對比圖
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