国产未成女一区二区三区,成人区人妻精品一熟女,亚洲精品乱码久久久久久中文字幕 ,成人欧美一区二区三区在线观看

資料

LED外延片的生長工藝介紹

上傳人:未知

上傳時間: 2009-10-13

瀏覽次數: 247

  硅晶柱的長成,首先需要將純度相當高的硅礦放入熔爐中,并加入預先設定好的金屬物質,使產生出來的硅晶柱擁有要求的電性特質,接著需要將所有物質融化后再長成單晶的硅晶柱,以下將對所有晶柱長成制程做介紹:

  長晶主要程式:

  1、融化(MELt Down)

  此過程是將置放于石英坩鍋內的塊狀復晶硅加熱制高于攝氏1420度的融化溫度之上,此階段中最重要的參數為坩鍋的位置與熱量的供應,若使用較大的功率來融化復晶硅,石英坩鍋的壽命會降低,反之功率太低則融化的過程費時太久,影響整體的產能。

  2、頸部成長(Neck Growth)

  當硅融漿的溫度穩定之后,將方向的晶種漸漸注入液中,接著將晶種往上拉升,并使直徑縮小到一定(約6mm),維持此直徑并拉長10-20cm,以消除晶種內的排差(dislocation),此種零排差(dislocation-free)的控制主要為將排差局限在頸部的成長。

  3、晶冠成長(Crown Growth)

  長完頸部后,慢慢地降低拉速與溫度,使頸部的直徑逐漸增加到所需的大小。

  4、晶體成長(Body Growth)

  利用拉速與溫度變化的調整來遲維持固定的晶棒直徑,所以坩鍋必須不斷的上升來維持固定的液面高度,于是由坩鍋傳到晶棒及液面的輻射熱會逐漸增加,此輻射熱源將致使固業介面的溫度梯度逐漸變小,所以在晶棒成長階段的拉速必須逐漸地降低,以避免晶棒扭曲的現象產生。

| 收藏本文
最新評論

用戶名: 密碼:

主站蜘蛛池模板: 青冈县| 广河县| 乐陵市| 蒙阴县| 洛浦县| 天柱县| 铁力市| 顺昌县| 红桥区| 长葛市| 邹平县| 甘孜县| 九台市| 万载县| 海淀区| 白城市| 蛟河市| 天津市| 花垣县| 潢川县| 安平县| 通河县| 交城县| 昌黎县| 龙口市| 阿克苏市| 攀枝花市| 奉贤区| 蓬安县| 磐石市| 舒兰市| 应用必备| 马龙县| 富平县| 阳高县| 库尔勒市| 黎川县| 瑞金市| 聊城市| 通州市| 右玉县|