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LED芯片制造設備及其工藝介紹

上傳人:未知

上傳時間: 2010-11-10

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  LED是技術引導型產業,特別是技術與資本密集型的芯片制造業,需要高端的工藝設備提供支撐。但與半導體投資熱潮下的“瓶頸”類似,設備研發與產業膨脹仍然存在著速度匹配的問題,尤其是在高端設備領域,大部分設備仍然需要依賴進口。進口設備的價格昂貴,采購周期過長,使中國的LED芯片制造行業急需本土設備的成長和崛起。

  一、上游外延片生長設備國產化現狀

  LED產業鏈通常定義為上游外延片生長、中游芯片制造和下游芯片封裝測試及應用三個環節。從上游到下游行業,進入門檻逐步降低,其中LED產業鏈上游外延生長技術含量最高,資本投入密度最大,是國際競爭最激烈、經營風險最大的領域。在LED產業鏈中,外延生長與芯片制造約占行業利潤的70%,LED封裝約占10%~20%,而LED應用大約也占10%~20%。

  產業鏈各環節使用的生產設備從技術到投資同樣遵循上述原則,在我國上游外延片生長和中游芯片制造的60余家企業中,核心設備基本上為國外進口,技術發展受制于人,且技術水平尚無法與國際主流廠商相比。這就意味著我國高端LED外延片、芯片的供應能力遠遠不能滿足需要,需大量進口,從而大大制約了國內LED產業的發展和盈利能力。

  表1 LED產業鏈概況及關鍵設備介紹

產業鏈

產品

關鍵設備

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